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产品详情
简单介绍:
EGS-1501,无尘室服装储存柜,无尘室用,半导体行业用,AIRTECH气泰克DSLY0505
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详情介绍:
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EGS-1501,无尘室服装储存柜,无尘室用,半导体行业用,AIRTECH气泰克DSLY0505
クリーンスーツを収納する専用装置です。作業者はクリーンスーツを着用し、作業に当たるため、クリーンスーツは清浄でなければなりません。汚染していたのでは、製品に悪影響を与えます。クリーンユニットを装置上面に設置し、内部は清浄度クラス1,000~10,000であり、クリーンスーツを清浄に維持します。
製品のポイント
- 3機種を取り揃えています。
- 個人用ロッカー型(ACL)と多人数型(EGS、AGS)があります。
規格・仕様について
形式 |
EGS-1001 / EGS-1501
|
---|---|
清浄度 |
ISO6(クラス1000)
|
集塵効率 |
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
|
集塵要素 |
メインフィルター:HEPAフィルター
プレフィルター:不織布フィルター |
処理風量(m³/min) |
約2.0 / 約3.0
|
フィルターユニット |
MAC-15×2 / MAC-15×3
|
電源 |
AC100V 1φ 50/60HzまたはDC24V
|
消費電力(W) |
約26 / 約39
|
重量(kg) |
24 / 32
|
外形寸法 |
W1000×D570×H2080mm / W1500×D570×H2080mm
|
構造 |
フレーム:樹脂コーティングパイプ、周囲:帯電防止ビニールカーテン
|
形式 |
SS-GS-1000 / SS-GS-1500
|
---|---|
清浄度 |
ISO7(クラス10000)
|
集塵効率 |
0.3μm粒子(大気塵)にて99.99%以上
|
集塵要素 |
メインフィルター:HEPAフィルター
プレフィルター:不織布フィルター |
処理風量(m³/min) |
約3.0[3.5]
|
フィルターユニット |
MAC-ⅡA-30
|
電源 |
AC100V 1φ 50/60Hz
|
消費電力(W) |
28[36]
|
重量(kg) |
約55 / 約64
|
外形寸法 |
W1000×D660×H2115mm / W1500×D660×H2115mm
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構造 |
天井・棚板・フレーム:SUS304、周囲:帯電防止ビニールカーテン
|
*[ ]内は60Hz時です。 |
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