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  • 产品名称:MA-4000 日本曝光机 DNK大日本科研 曝光机品牌 防焊曝光机

  • 产品型号:MA-4000
  • 产品厂商:日本DNK大日本科研
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简单介绍:
MA-4000 日本曝光机 DNK大日本科研 曝光机品牌 防焊曝光机 MA-4000 日本曝光机 DNK大日本科研 曝光机品牌 防焊曝光机 MA-4000 日本曝光机 DNK大日本科研 曝光机品牌 防焊曝光机
详情介绍:

MA-4000   日本曝光机  DNK大日本科研   曝光机品牌 防焊曝光机
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 DSMRO012






其被涂覆在光致抗蚀剂掩模重叠基板,用于烘焙的图案,其包括范围和X-Y-θ台机构的曝光装置,以允许自动对准在多次曝光,基板的供给也对准曝光 - 在汽车尾气排放进行。

主要特点
  • 凭借其独特的平行拉伸机制,高精度地设置了掩模和晶圆之间的接近间隙。
  • 通过**的高速图像处理技术进行高精度的对位。
  • 通过图像处理技术,预对准也适用于薄基板,变形基板,石英和其他易碎晶圆。(可选)
  • 凭借我们独特的接触压力**控制机制,我们可以高精度地与掩膜接触。
  • 通过晶圆的背面真空吸附方式,实现了高速,高精度的稳定自动输送。
 
 
主要规格
  MA-4000
晶圆尺寸 Ø2至4“ Ø4至6“
面膜大小 □5“ □7“
光源 超高压汞灯:500瓦或1千瓦
外部尺寸和重量 身体尺寸 W 1340 x D 1430 x H 1900 mm
体重 1120公斤
选项 生产管理系统(D-Net),背面对齐,○□双板













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