产品名称：SF-640M/日本KURODA黑田精工/超高精度平整度测量装置/工业器材

SF-640M/日本KURODA黑田精工/超高精度平整度测量装置/工业器材

DSMRO0030

超高精度平整度测量装置SF-640M
“对可以看到无形世界的世界”

“超精密平直度测量装置SF-640M”被开发为精密评估系统，用于工件，例如用精密平面磨床加工的模具。这是我们的硅晶片该平面施加技术和技术诀窍“Nanometoro”允许平面和边缘的准确的评价，鸟瞰图和平面形状的横截面图，轮廓和各种形式的超精密测量设备可以评估。


特点
高精度运动机构！
通过采用Kuroda的精密气动滑块和直线伺服电机的超精密加工技术，我们可以实现世界上高水平的平直度测量。


丰富的显示分析，操作简便！
为了佳地评估测量结果，我们根据Nanometro系列的销售业绩获得的经验，准备了各种内部开发的显示和分析软件。

可以评估各种作品！
它对应于各种工作，如金属，陶瓷，玻璃，各种晶圆等。根据评估项目和要求的准确性，测量头可以设计成可更换的，并且可以对待测量的物体进行佳评估。

结构化设计，结合性，可操作性，高精度！
测量工作我们有两个大小门，用于安装和拆卸工作，以确保，并设计为考虑到可操作性，以便可以用起重机等装载工作。另外，通过小化测量期间的干扰影响并分离成为热源的电气设备，可以进行高精度测量。

性能·规格
模型 SF-640M
测量范围（X×Y） 650毫米×450毫米
总体测量精度 0.6μm（※1）
重复性 0.1μm（* 2）
显示分辨率 0.01微米
测量头 非接触式激光位移计，电子千分尺
小数据间隔 1微米
测量速度 0.5至50毫米/秒
轴/指南 陶瓷空气导流
驾驶方法
X轴：直线电机

Y轴：伺服电机

大工件质量 40公斤
外观尺寸 W 1820 mm×D 1200 mm×H 1550 mm
体重 1000公斤
所需电源 AC 200 V（50/60 Hz）15 A.
需要压缩空气 清洁干燥空气0.5 MPa
空气流量 100升/分钟（ANR）
大工作高度 50毫米
安装环境
室温：20°C至25°C（变化范围为1°C或更低）

地板强度：承受负荷9,800 N / m 2以上

SF-640M/日本KURODA黑田精工/超高精度平整度测量装置/工业器材

日本黑田精工株式会社成立于1925年，zui初名为黑田挟范制作所(kuroda Gauge Manufacturing Company)，是日本国内zui早生产专业量规的企业之一。本公司自成立以来一直立足于高精密计量和机械加工技术行业，致力研究开发各种精密仪器。例如，本公司所开发研制的作为数控机床重要组成部分之一的电气-油压脉冲电动机曾荣获日本机械振兴会颁发的一等奖。本公司自创业80多年以来，历经几代黑田精工的员工们不懈的努力，我们积累了许多与精密仪器相关的研究开发技术和经验。正是利用这些技术和经验所制造的产品为我们在各个产业领域中赢得了高度的声誉

气缸PRNA系列:PRNA10S-90-90,PRNA10S-80-90,PRNA10S-270-45,PRAN20S-180-90,PRN50S-270-45,PRN30S-180-45,PROA3S-180-90, PRNA10S-180-90，PRNA20S-180-90，PRNA30S-180-90  PRN30S-270-45

过滤器:LF-MA55 A05PS25-1P,A05PS25X-1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S-E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB,A12FS-1P,VZ3120-5GS-M5, VZ3120-5GS-M5, 5ER-8E。

A05系A05PS25-1P,A05PS25X-1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S- E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB,A12FS-1P, VZ3120-5GS-M5 , 5ER-8E VZ3120-5GS-M5, 5ER-8E  A05PS25-1P,A05PS25X-1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S-E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB，A12FS25-1P
电磁阀VA01系列:VA01PEP34-1U,VA01PSC24-1P,VA01PLC24-1P
电磁阀RCS系 K20GS25，K20GD25，K20GD35，K20GE35，K20GO35，K20PS25，K20PD25，K20PD35，K20PE35，K20PO35，K20RS25，K20RD25，K20RD35，K20RE35，K20RO35.
电磁阀A05，A12，A20系 列：A05PS25，A05PD25，A05PD35，A05PE35，A05PO35，A05RS25，A05RD25，A05RD35，A05RE35，A05RO35，A12PS25，A12PD25，A12PD35，A12PE35，A12PO35，A12RS25，A12RD25，A12RD35，A12RE35，A12RO35，A20PS25，A20PD25，A20PD35，A20PE35，A20PO35，A20RS25，A20RD25 列:RCS2406-02-220G,RCS2406-02-D24G,RCS2406-02-110G,RCS2408-03-D24G,RCS2408-03-220G,RCD2408-03-220L,RCO3408-03-220,RCE3408-03-220,RCD3408-03-220G,RCD3408-03-D24G,RCS2413-01-220L,RKS2420-02-D24DZ,RKS2420-02-220DZ    PCS2408-NB-200G,PCS2408-NB-100G,PCS2408-03-D24G,PCS2413-NB-D24L,PCS24113-NB-100,PCD2413-NB-D24,PCS245-NB-D24SP,PCD245-NB-D24SP,PCD345-NB-D24SP
电磁阀AS系列:AS2406-NB-110V,AS2406-NB- 220V,AS2408-03-220V,AS2408-03-110V,AD2408-NB-220V,AS2410-04-220V,AS2410-NB-110V,AS2310-04-220V,
电磁阀SS系列:SS231-D24G,SS231-220G
气缸PRNA系列:PRNA10S-90-90,PRNA10S-80-90,PRNA10S-270-45,PRAN20S- 180-90,PRN50S-270-45,PRN30S-180-45,PROA3S-0-90, PRNA10S-180-90，PRNA20S-180-90，PRNA30S-180-90
过滤器:LF-MA55 A05PS25-1P,A05PS25X-1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S-E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB,A12FS-1P,VZ3120-5GS-M5, VZ3120-5GS-M5, 5ER-8E  
供应黑田精工kuroda气缸及电磁阀,电磁阀A05系A05PS25-1P,A05PS25X- 1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S-E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB,A12FS-1P, VZ3120-5GS-M5 , 5ER-8E VZ3120-5GS-M5, 5ER-8E   A05PS25-1P,A05PS25X-1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S-E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB，A12FS25-1P
电磁阀VA01系列:VA01PEP34-1U,VA01PSC24-1P,VA01PLC24-1P电磁阀RCS系 K20GS25，K20GD25，K20GD35，K20GE35，K20GO35，K20PS25，K20PD25，K20PD35，K20PE35，K20PO35，K20RS25，K20RD25，K20RD35，K20RE35，K20RO35.
电磁阀A05，A12，A20系 列：A05PS25，A05PD25，A05PD35，A05PE35，A05PO35，A05RS25，A05RD25，A05RD35，A05RE35，A05RO35，A12PS25，A12PD25，A12PD35，A12PE35，A12PO35，A12RS25，A12RD25，A12RD35，A12RE35，A12RO35，A20PS25，A20PD25，A20PD35，A20PE35，A20PO35，A20RS25，A20RD25 列:RCS2406-02-220G,RCS2406-02-D24G,RCS2406-02-110G,RCS2408-03-D24G,RCS2408-03-220G,RCD2408-03-220L,RCO3408-03-220,RCE3408-03-220,RCD3408-03-220G,RCD3408-03-D24G,RCS2413-01-220L,RKS2420-02-D24DZ,RKS2420-02-220DZ    PCS2408-NB-200G,PCS2408-NB-100G,PCS2408-03-D24G,PCS2413-NB-D24L,PCS24113-NB-100,PCD2413-NB-D24,PCS245-NB-D24SP,PCD245-NB-D24SP,PCD345-NB-D24SP
电磁阀AS系列:AS2406-NB-110V,AS2406-NB- 220V,AS2408-03-220V,AS2408-03-110V,AD2408-NB-220V,AS2410-04-220V,AS2410-NB-110V,AS2310-04-220V,
电磁阀SS系列:SS231-D24G,SS231-220G
气缸PRNA系列:PRNA10S-90-90,PRNA10S-80-90,PRNA10S-270-45,PRAN20S- 180-90,PRN50S-270-45,PRN30S-180-45,PROA3S-0-90, PRNA10S-180-90，PRNA20S-180-90，PRNA30S-180-90
过滤器:LF-MA55 A05PS25-1P,A05PS25X-1P.A12RS25-1P,A12PS25-1P,A12PD25-1S-E,A12GD25-1P,A12PS25X-1P,A12GS25X-1P K20PS25-200DP-NB,A12FS-1P,VZ3120-5GS-M5, VZ3120-5GS-M5, 5ER-8E
   
SF-640M/日本KURODA黑田精工/超高精度平整度测量装置/工业器材