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产品详情
简单介绍:
详情介绍:
检测对象
毒气/半导体材料气体
检测范围
根据规格而定
检测原理
定电位电解式
检测方式
泵吸引式
应用行业
石油化工、半导体制造
01.产品特点
· 只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体
· 用盒式传感器单元无需进**体检测器校正
· 可以大幅度削减成本和维护时间
02.产品用途
· 半导体工厂/石油化学工厂等
· 在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测
03.对象气体
型号 | 气体 | 满量程 |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm |
XDS-7DC | SiH2Cl2 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm |
XDS-7BH | B2H6 | 500ppb |
XDS-7SE | H2Se | 250ppb |
XDS-7GH | GeH4 | 1ppm |
XDS-7CL | Cl2 | 5ppm |
XDS-7CF | ClF3 | 1ppm |
XDS-7HC | HCl | 25ppm |
XDS-7HF | HF | 10ppm |
XDS-7HB | HBr | 10ppm |
XDS-7NO | NO | 100ppm |
XDS-7HS | H2S | 50ppm |
XDS-7CO | CO | 250ppm |
XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
XDS-7SD | SO2 | 10ppm |
XDS-7ND | NO2 | 10ppm |
XDS-7NF | NF3 | 100ppm |
04.产品参数