材质、表面处理
| SNSMT | |
|---|---|
| 主体 | UNS N06210（MAT21＊1） |
＊1： MAT及MAT21是日立金属株式会社的注册商标。
用途
FPD制造装置/半导体制造装置/印刷电路板蚀刻装置/金属表面处理设备/化学成套设备
特点
- 耐腐蚀性MAT21的内六角圆柱头螺栓。
- MAT21对氧化性、还原性环境均表现出优良的耐腐蚀性。
- 在各种腐蚀环境下，具有比哈氏合金＊1C-22或C-276更优异的耐腐蚀性。
- 已完成无尘洗净、无尘包装。
＊1： Hastelloy和哈氏合金是美国哈氏合金国际公司的注册商标。
物性
|
MAT21 （UNS N06210） |
SUS304 | |
|---|---|---|
| 比重 | 8.76 | 7.93 |
| 纵向弹性系数（GPa） | 205 | 193 |
| 比热（J/kg・K） | 414 | 500 |
| 电阻率（μΩ・m） | 1.274 | 0.7 |
| 线性膨胀系数（K-1） | 12.0×10-6 | 17.3×10-6 |
表中数值非保证值，仅供参考。
机械性质
|
MAT21 （UNS N06210） |
SUS304 | |
|---|---|---|
| 拉伸强度（N/mm2） | 690 | 520以上 |
| 0.2％承压力（N/mm2） | 310 | 205以上 |
| 伸长率（％） | 45 | 40以上 |
表中数值非保证值，仅供参考。
耐药品性
| 药品名称 | 组成（％） | 温度 | MAT21（UNS N06210） | 哈氏合金C-22 | 哈氏合金C-276 | SUS316L | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 盐酸 | 1 | 沸点 | ◎ | ○ | ○ | × | |
| 2 | 沸点 | ◎ | × | △ | × | ||
| 4 | 沸点 | △ | × | × | - | ||
| 5 | 沸点 | △ | × | × | - | ||
| 硫酸 | 10 | 沸点 | ◎ | ○ | △ | × | |
| 40 | 沸点 | △ | × | × | - | ||
| 混合液 | 硫酸 | 10 | 沸点 | △ | × | × | - |
| 盐酸 | 2 | ||||||
| 混合液 | 硫酸 | 20 | 80℃ | ◎ | × | △ | × |
| 盐酸 | 1.5 | ||||||
| 混合液 | 硫酸 | 50 | 50℃ | ○ | ○ | ○ | - |
| 盐酸 | 1.5 | ||||||
| 硝酸 | 10 | 沸点 | ◎ | ◎ | ○ | - | |
| 磷酸 | 85 | 沸点 | ○ | × | × | × | |
| Method B | ※ | 沸点 | ○ | ◎ | △ | × | |
表中数值非保证值，仅供参考。
