材质、表面处理
SCSS
主体
SUSXM7(相当于SUS304)
球
SUS440C(硬度55-60HRC)
薄膜氟涂层
SCSS | |
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主体 | SUSXM7(相当于SUS304) |
球 |
SUS440C(硬度55-60HRC) 薄膜氟涂层 |
用途
工件的固定・定位/真空装置/FPD制造装置/半导体制造装置
工件的固定・定位/真空装置/FPD制造装置/半导体制造装置
特点
-
用于固定FPD制造装置、半导体制造装置等真空装置、真空容器内的工件。
-
经过无尘洗净・无尘包装。
-
通过薄膜氟涂层,无尘洗净后提高了球的润滑性。
-
通孔和通槽易于排出蓄积于装置内的气体。
-
SCSS-VR通过整球的点接触可靠地固定工件。
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SCSS-VF通过平面头钢球进行面接触。不会损伤工件。球可弹性旋转9°。即使配合面为倾斜面,也能可靠地夹紧。
- 用于固定FPD制造装置、半导体制造装置等真空装置、真空容器内的工件。
- 经过无尘洗净・无尘包装。
- 通过薄膜氟涂层,无尘洗净后提高了球的润滑性。
- 通孔和通槽易于排出蓄积于装置内的气体。
- SCSS-VR通过整球的点接触可靠地固定工件。
- SCSS-VF通过平面头钢球进行面接触。不会损伤工件。球可弹性旋转9°。即使配合面为倾斜面,也能可靠地夹紧。