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电商MRO供应链今日推荐SAKAGUCHI坂口电热ExLASER®多功能激光平面瞬时加热装置

日期：2025-05-31 15:02
浏览次数：79
摘要： ExLASER® 是一种多功能激光平面瞬时加热装置。 长处 可以超快速的温度上升和下降。 一次均匀加热 2 英寸基板 直接加热只能用于被加热的物体。 可根据工艺进行温度控制 节能而不加热大气 MBE 设备的基板加热 ...

ExLASER® 是一种多功能激光平面瞬时加热装置。

长处

  • 可以超快速的温度上升和下降。
  • 一次均匀加热 2 英寸基板
  • 直接加热只能用于被加热的物体。
  • 可根据工艺进行温度控制
  • 节能而不加热大气


  • MBE 设备的基板加热
  • 晶圆退火（SiC、GaAS 等）
  • 可对多层器件进行表面退火（与小型化器件兼容）


成就示例


日本原子能机构 日本
激光功率：100W
尺寸：H251×W200×D253 （mm）





激光加热实验

使用 EXL-CT-010DS55，对安装在真空室中的样品进行激光加热。 从样品的背面（与激光照射表面相反）测量温度分布。

1. 蓝宝石衬底（φ2英寸） --- 应用于透明衬底


温度分布蓝宝石衬底的温度
分布
（激光功率：1000W）



蓝宝石
衬底的快速升温和降落（平均衬底温度）（
激光功率：1000W）


2. 温度倾斜---组合光学的使用


温度分布金属板的温度
分布
（激光功率：86W 焦点）



温度倾斜图 金属板的温度
斜率



标准规格

型号 EXL-CT-010-DS55
激光照射方法 直接型 体型 高 625 毫米 × 宽 700 毫米 × 深 320 毫米
激光功率 高达 1kW 附属品 专用冷水机组
激光波长 808 纳米 额定 机身：1P200V20A
冷水机：1P200V15A
激光几何形状 广场
光学元件（均匀性） 均质器 （±5%） 言论 JST Originality 建模
和开发产品 （FY17）
加热区 □ 55 毫米
工作距离 400 毫米~

* 以上为标准规格。 可以根据客户的要求进行更改。




选项 * 我们将根据您的要求制造


  • 真空室
  • 温度控制单元
    ・辐射温度计
    ・数字指示器控制器
    ・红外线透射窗
  • PCB 支架（用于 2 英寸板）
  • 用于组合专用基板支架的光学系统（兼容 □10mm 板）
  • 各种衬底（蓝宝石、硅、GaAs 等）






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2024/09/26


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