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电商MRO供应链今日到货推荐日本SMC 高真空角阀 XLD-40K-M9
高真空角(L 形)阀,用于防止泵在过载时运行。
[功能]
·初始排气阀和主排气阀一体化(两段式流量控制阀)
・ 实现系统紧凑化和节省配管・ 排气时防止灰尘在腔室内卷起
・ 初始排气阀流量可调
・ 气动型/带电磁阀
・ 由于排气量少,因此泵容量小,可缩短排气时间
・ 不含Ni(镍)和Cr(铬)等重金属,溅射率低,因此晶圆上的重金属污染很少
・ 强氟
·均匀的烘烤温度。导热性好,全身温度均匀,大大降低产品粘附性重量轻、结构紧凑
类型气动真空阀 应用一次性使用
安装方向直接 端口数2 通阀
开关类型2 位常闭 管口类型法兰
法兰类型钦哲基金会 法兰公称40
密封类型波纹管密封 Sonic Speed Conductance45 升/秒
引燃港方向翼缘面,左 温度范围(°C)5 至 60
开关部件号无自动切换(带内置磁铁) 开关数量无开关
密封材料FKM 1349-80 泄漏量(Pa·m3/s)内部:1.3 × 10-10,外部:1.3 × 10-11
体表处理外部: 硬质阳极氧化铝, 内部: 基材 密封更换位置没有
深圳电商代理及优势品牌
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主要合作客户
关西涂料(ALESCO)、欧菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯国际(SMIC),京东方(BOE),华星光电(CSOT),天马(TIANMA),柔宇(ROYOLE)
丰田(TOYOTA),SUZUKI(铃木),比亚迪(BYD),大疆(DI),艾华集团(AISHI),骏马精密(ZAMA)三一重工(SANY),中联重科(ZOOMLION)
住友集团(sumitomo),华为(Huawei)徐工集团,大长江集团,扬力集团,太阳诱电,华天科技,大冶摩托,正泰集团,
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深圳电商商业股份有限公司
2024/12/17