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电商MRO供应链德国optrisc欧普士单体红外测温仪CSmicro*小的传感头可实现光刻中的准确、高效的温度监测

日期：2025-04-30 17:33
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摘要：*小的传感头可实现光刻中的准确、高效的温度监测 为了避免干扰敏感的制造过程，必须以非直接接触的方式测量晶圆的表面温度。保持均匀的温度分布对于实现光刻胶的均匀层厚度至关重要，并且必须直接在物体上测量。为此，使用具有长波光谱范围（8 µm -14 µm）的高温计。考虑到通常狭窄的空间条件，传感器必须尽可能紧凑，以确保可以正确定位，*好垂直于晶圆表面。 CSmicro 是*紧凑的红外传感器系列，具有*小的传感器头，是此应用的理想选择。CSmicro 系列由 Optris 制造，因其坚固的设计和高精度而脱颖而出。它具有微型传感器头，可以轻...
*小的传感头可实现光刻中的准确、高效的温度监测
为了避免干扰敏感的制造过程，必须以非直接接触的方式测量晶圆的表面温度。保持均匀的温度分布对于实现光刻胶的均匀层厚度至关重要，并且必须直接在物体上测量。为此，使用具有长波光谱范围（8 µm -14 µm）的高温计。考虑到通常狭窄的空间条件，传感器必须尽可能紧凑，以确保可以正确定位，*好垂直于晶圆表面。
CSmicro 是*紧凑的红外传感器系列，具有*小的传感器头，是此应用的理想选择。CSmicro 系列由 Optris 制造，因其坚固的设计和高精度而脱颖而出。它具有微型传感器头，可以轻松集成到狭窄空间中，非常适合半导体制造环境。CSmicro 传感器能够测量从 -40 °C 到 1030 °C 的温度，为制造过程的各个阶段提供灵活性。
此外，CSmicro 传感器具有快速响应时间，可确保实时温度监控和控制。这种快速反馈对于保持光刻所需的严格温度公差至关重要。温度信号通过模拟信号传输到 PLC，从而可以无缝集成到现有的过程控制系统中。CSmicro 的先进光学元件和高质量校准可确保准确可靠的测量，有助于提高半导体制造中的工艺稳定性和产品质量。



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2025/4/22

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