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电商MRO供应链德国optrisc欧普士单体CSmicro在西门子工艺中使用红外测温仪实现可靠的硅温度读数

日期：2025-05-01 02:25
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摘要：在西门子工艺中使用红外测温仪实现可靠的硅温度读数 硅的发射率随温度、波长和表面特性的变化而变化，从而在不同光谱范围内产生复杂的动态行为。为了可靠地测量硅的温度，建议使用 1 µm 左右的短红外波长，因为在这种波长下，尽管温度发生变化，硅的发射率仍然保持稳定。双色测温仪具有优势，因为它们不需要填充整个视场来测量棒温。当存在氢气时，双色测温仪可与防爆外壳一起使用。 光纤 CTratio 双色测温仪可有效测量基底或沉积多晶硅薄膜的温度。这些两件式测温仪结构紧凑，配备有柔性光纤，可安装在狭窄或难以触及的区域。其设计...
在西门子工艺中使用红外测温仪实现可靠的硅温度读数
硅的发射率随温度、波长和表面特性的变化而变化，从而在不同光谱范围内产生复杂的动态行为。为了可靠地测量硅的温度，建议使用 1 µm 左右的短红外波长，因为在这种波长下，尽管温度发生变化，硅的发射率仍然保持稳定。双色测温仪具有优势，因为它们不需要填充整个视场来测量棒温。当存在氢气时，双色测温仪可与防爆外壳一起使用。
光纤 CTratio 双色测温仪可有效测量基底或沉积多晶硅薄膜的温度。这些两件式测温仪结构紧凑，配备有柔性光纤，可安装在狭窄或难以触及的区域。其设计可承受恶劣的工作条件，包括高温、振动和化学接触。比色技术通过比较两种不同波长光的强度来提供**的温度测量，从而减少因发射率变化、光学干扰或光路阻尼等因素造成的误差。
不过，有些设备还是倾向于使用单色测温仪，因为单色测温仪只测量单一波长，可能会受到发射率变化的影响。他们追求的是西门子过程的可重复性，而不是**的温度。然而，在双色装置中，智能比率模式可以让测温仪了解发射率或比率的变化，即使两个波长的发射率变化不一致，也能确保测量的准确性。

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