珂玛科技 8 寸ESC量产12寸攻坚精密温控迎来新机遇

在半导体刻蚀设备国产化浪潮中，核心部件静电卡盘（ESC）的突破至关重要。珂玛科技近日实现关键跨越：8 英寸刻蚀用单极静电卡盘（Monopolar ESC）稳定量产，12 英寸 ICP/CCP 刻蚀机型同步推进客户端验证，标志着国产 ESC 正式进入规模化交付与攻坚并行的新阶段。这一进展，也为坂口电热（SAKAGUCHI） 精密加热组件在刻蚀温控场景的深度渗透，打开全新空间。 

珂玛科技依托 “02 专项” 技术积淀，攻克陶瓷 - 金属键合、高绝缘陶瓷烧结、等离子体工况适配等核心难题，其 8 寸刻蚀 ESC 已通过国内主流刻蚀设备厂商验证并批量交付，适配刻蚀机高密度等离子体、强腐蚀、宽温域（-20℃~200℃）等工况，实现吸附均匀、温控稳定、长寿命耐轰击三大核心性能达标，成功 8 寸刻蚀 ESC 量产空白，助力国产刻蚀设备完成 “设备 - 卡盘” 国产化闭环。 

从 8 寸量产到 12 寸验证，珂玛科技构建起 “成熟量产 + 攻坚” 的产品矩阵，2025 年半导体业务收入同比激增 205%，研发投入持续加码（2026 年一季度同比增长 62.12%），为 12 寸 ESC 规模化落地筑牢技术与产能基础。 

• 全域均匀加热，保障刻蚀一致性：采用陶瓷 / PI 复合加热技术，适配 8/12 寸卡盘曲面结构，全域温差≤±0.1℃，无热点、无温度漂移，适配高密度等离子体刻蚀的均匀温控需求，从源头规避晶圆刻蚀不均、良率波动问题。

• 超薄柔性设计，适配多区控温：*薄 0.1mm 超薄结构，可嵌入卡盘内部实现分区贴合加热，适配 12 寸多区控温 ESC 的独立温控设计，支持不同区域精准控温，满足先进制程复杂刻蚀工艺需求。

• 工况稳定，长寿命耐用：全陶瓷一体烧结，低释气、高绝缘、耐腐蚀，耐受刻蚀腔体高真空、等离子体轰击及特气腐蚀环境，使用寿命超 10 万小时，大幅降低卡盘维护与更换成本。

• 快速温变响应，提升制程效率：低热容设计实现5℃/ 秒快速升温，适配刻蚀 “快速升温 - 恒温刻蚀 - 快速降温” 工艺节拍，助力晶圆厂提升设备稼动率，匹配 8/12 寸产线高效生产需求。 
  
  

  

我司深圳电商商业股份有限公司，是坂口电热品牌在中国区域的正规授权代理商。企业长期专注精密加热元器件供应链服务，熟悉半导体、精密制造等多领域工艺应用场景，积累了丰富的产品配套经验。
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