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  • 产品名称：曝光机参数 MA-6801ML 日本曝光机 DNK大日本科研 光敏曝光机

  • 产品型号：MA-6801ML
  • 产品厂商：日本DNK大日本科研
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简单介绍：
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详情介绍：

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 DSMRO012






这是一种垂直接近式曝光机，通过使掩模和基板垂直来减少偏转。它还支持内嵌水平输送式前后处理设备。

主要特点
  • 垂直放置掩模架/基板台。掩模/掩模支架/基板台自重偏转校正变得不必要，实现了简单和稳定的装置。
  • 新通过该光学系统的，变得小于一半二偏角通常影响图案转印精度（相），更高的准确度可以是图案转移。
  • 完全分离主机和光源单元。通过不将光源的热量传递至主体的结构，主体的热量分布得以改善。
  • 为了防止由于掩模和玻璃基板的温度差异引起的膨胀和收缩，可以选择基板台温度控制和掩模冷却系统。（可选）
  • *大的电路板尺寸是1,200毫米×1,400毫米。而且，可以用独特的光学系统进行统一的一体式曝光。
  • 可以安装能够存储5个掩模的掩模库。
主要规格
  MA-6701ML MA-6801ML MA-6131ML
底物大小 550 x 650毫米 650 x 750毫米 1100 x 1300毫米
面膜大小 620 x 720 x t 8.0毫米 700 x 800 x t 8.0毫米  1200 x 1400 x t 4.8毫米
对准 非接触预校准〜可以自动校准
差距 具有感应功能
光源 超高压汞灯：8千瓦 超高压汞灯：8千瓦 超高压汞灯：18千瓦
外部尺寸和重量 身体尺寸 W 3500×D 2720×H 2700毫米 W4150×D3200×H2900毫米 W 11300×D 7060×H 3350mm
体重 3500公斤 3800公斤 12700公斤
光源重量 800公斤 1150公斤 4200公斤
选项 面罩冷却，基板平台温度控制，热室，特殊对准照明
使用 触摸屏，彩色滤光片，有机EL，C-STN，电子纸等













电商集团（中国）有限公司成立于2009年，是香港电商集团在中国的全资分公司，位于深圳市南山前海金融区，注册资本壹亿元，主营业务涵盖国际贸易、妇婴用品、医辽、汽车、酒店、百货、投资理财、互联网等领域。集团在香港已建立完善的渠道网络，丰富的领域资源，密切的政府协作，三大方面保障了公司业务的顺利发展。秉承“行业多元化，水准国际化，服务专业化”的“三化”服务理念，利用其国际化的专业知识体系、精细化的服务流程、高性能的服务水准，为客户提供高性价比的产品和全方位立体化解决方案。集团的采购商品来自美国、德国、瑞士、法国、意大利、日本、韩国，并建立了分公司，从而取得优势的产品货源，以及*即时的产品讯息。集团服务客户已超过万家，并获得了百家国际品牌授权代理。   

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