产品名称：联轴器 十字滑块型

形状図

构造

夹紧型MOHS-C MOHS-C MOHS-SPCR

材质、表面处理

	MOHS-C
轴套	SUS303
间隔体	Vespel＊1
内六角圆柱头螺栓	SUSXM7 二硫化钼涂层

＊1：　VESPEL是杜邦公司的注册商标。
颜色可能会因批次等而变化。

特点

• 特性

	MOHS-C
低尘	△
适用于真空环境	◎
低排气	○
耐热	◎
耐药性	○
容许误差调整	◎
电绝缘性	◎
无尘	◎
可使用温度	-20℃～200℃

◎：特优　○：优
△：可能产生磨屑

• 十字滑块型挠性联轴器。
• 已完成无尘洗净、无尘包装。可在FPD生产设备等需要的耐热、耐药品性环境或无尘室中使用。
• 间隔体采用Vespel SPC5000。
  耐热性、耐药品性优异，高温下的排气量极少。
• 通过轴套与间隔体的滑移，允许有偏心、偏角存在。
• 因误差调整量而产生的轴载荷变小，减轻了轴的负担。

用途

FPD生产设备/半导体生产设备

使用注意事项

安装到D型切口轴时，请注意轴的D型切口面的位置。⇒偏差调整
备有内六角螺栓可从联轴器的外径伸出、旋转直径大于外径的规格。请注意联轴器的干渉。旋转直径

排气的分析

单位 : （v/v ppm）

成分		含量
无机气体	氢	500以下
	一氧化碳	500以下
	二氧化碳	500以下
有机气体	甲烷	5以下
	乙烷	5以下
	乙烯	5以下
	丙烷	5以下
	乙炔	5以下
	i-丁烷	5以下
	n-丁烷	5以下
	丙烯	5以下

无机气体、有机气体均在定量下限以下，无法检测。

• 测量方法
  无机气体----气相色谱法（TCD）
  有机气体----气相色谱法（FID）
• 测量条件
  加热温度----100℃

型号列表

MOHS-19C

• MOHS-19C-5-5
 
• MOHS-19C-5-6
 
• MOHS-19C-5-8
 
• MOHS-19C-6-6
 
• MOHS-19C-6-8
 
• MOHS-19C-8-8

MOHS-26C

• MOHS-26C-8-8
 
• MOHS-26C-8-10
 
• MOHS-26C-10-10

MOHS-32C

• MOHS-32C-8-8
 
• MOHS-32C-8-10
 
• MOHS-32C-8-11
 
• MOHS-32C-8-12
 
• MOHS-32C-8-14
 
• MOHS-32C-10-10
 
• MOHS-32C-10-11
 
• MOHS-32C-10-12
 
• MOHS-32C-10-14
 
• MOHS-32C-11-11
 
• MOHS-32C-11-12
 
• MOHS-32C-11-14
 
• MOHS-32C-12-12
 
• MOHS-32C-12-14
 
• MOHS-32C-14-14