材质、表面处理
| SCSS | |
|---|---|
| 主体 | SUSXM7（相当于SUS304） |
| 球 |
SUS440C（硬度55-60HRC） 薄膜氟涂层 |
用途
工件的固定・定位/真空装置/FPD制造装置/半导体制造装置特点
- 用于固定FPD制造装置、半导体制造装置等真空装置、真空容器内的工件。
- 经过无尘洗净・无尘包装。⇒无尘洗净、无尘包装服务
- 通过薄膜氟涂层，无尘洗净后提高了球的润滑性。
- 通孔和通槽易于排出蓄积于装置内的气体。
- SCSS-VR通过整球的点接触可靠地固定工件。
- SCSS-VF通过平面头钢球进行面接触。不会损伤工件。球可弹性旋转9°。即使配合面为倾斜面，也能可靠地夹紧。
