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  • 产品名称：便携式气体检测仪

  • 产品型号：XP-703DⅢ
  • 产品厂商：日本COSMOS新宇宙
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检测对象

H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3

检测浓度

1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm丨0.3ppm

检测原理

专线型半导体式

采样方式

自动吸引式


应用行业

半导体制造


01.产品特点


·  小型·轻量

·  可以检查非常微量的气体泄漏

·  适合氢气相关设备的**防护

·  搭载的泵有自动停止功能

·  搭载[自动气体排气模式]功能

·  保护等级约为IP22（JIS C  0920）※安装皮套时


02.产品用途

·  半导体工厂/石油化学工厂等

·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测


03.产品参数

XP-703DⅢ产品参数.jpg

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