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  • 产品名称：加热板，半导体晶片制造加热用，液晶显示器底板加热，SAKAGUCHI坂口电热

  • 产品型号：加热板
  • 产品厂商：日本SAKAGUCHI坂口电热
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简单介绍：
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详情介绍：

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从低温至高温，在大气及真空中均可使用的加热器。 重点制作均匀温度分布。

特长：

规格设计的时候采用周密的热设计，重视广范围均热性的规格解析。
考虑到热稳定性，再现性考虑而制作。
根据规格对应要求的温度，周密地选定制作发热体与热板材质。

用途

半导体晶片制造加热用、液晶显示器底板加热

CVD，溅射，等离子腐蚀的热处理

塑料，库姆等的预热・热冲压模具成型

各种化工设备，试验装置的加热基础

电子材料、新材料的开发试验

制作规格（产品定制）

温度范围 ～900℃
热板材质 铝ミ、SUS304、SUS316L、耐蚀镍基合金C，铬镍铁合金600、石英
表面处理 耐酸铝，铝合金表面处理、镍、铬等处理
使用环境 大气中、真空中、不活性气体及各种处**体中
温度分布浓度 根据标准品要求温度，可在有効范围内设定温度的±1%（℃）
温度传感器 主要在热版内设置有金属管热电偶

 

付属关联产品・部品

  • 温度控制盘【：PID　制御（自动调谐控制方式）/ON-OFF控制等
  • 反光片：必要枚数
  • 端子形状：O环状、各种各样的、法兰式
  • 电流导入端子 (真空端子)：各种电流导入端子(真空端子)


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