产品目录
产品详情
查看大图

  • 产品名称：MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505

  • 产品型号：MUM系列
  • 产品厂商：日本DNK大日本科研
  • 产品价格：0
  • 折扣价格：0
  • 产品文档：
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍：
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505 MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505 MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505
详情介绍：
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505
MUM系列，MEMS用曝光装置，日本曝光装置，DNK大日本科研DSLY0505


在曝光过程中，通过移动掩膜来控制光刻胶表面的曝光能量分布。能够制作有任意曲面及倾斜的三维微细构造体。

特点：

采用独自的镜面・镜头光学系统,实现**均匀的照射。
配备有可设定非接触・面内均一间隙的间隙传感器和对应多层曝光的显微镜、X・Y・θ轴对位台的对位系统。
采用Moving UV mask法(使用Piezo Positioning Stage,使掩膜在曝光中微细移动)能够控制厚膜光刻胶的侧壁倾斜角度,形成三维微细构造体。

主要规格

  MUM系列
掩膜尺寸 Max 9" x 9" x t3.0 mm
基板尺寸 Max Φ8"(Wafer)
光源 超高压水银灯 ：500W or 1kW
外观尺寸及重量 本体尺寸 W2120 x D1305 x H1850 mm
本体重量 640kg

※基板尺寸和水银灯瓦数及特殊规格可商洽




标题：
内容：
联系人：
联系电话：
Email：
公司名称：
联系地址：
 
 
注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

粤公网安备 44030902000284号