SD 系列的特点
传承过程容差，追求进化
主要型号
| 型号*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
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*大抽速 [升/分钟]*2 |
10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
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极限压力 [Pa] *2 |
0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| N2流量 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
| 冷却水流量 [升/分钟] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 功耗 [kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外形尺寸 [毫米]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
*1） SDX节能苛刻工艺兼容机，SDT/SDH工艺电阻/超苛刻兼容机器
*2） N2未使用**时的值。 *3） 达到操作时的近似功耗。 *4） 包装尺寸。 详细尺寸请索取外部图纸。
*5） 我们拥有具有出色耐工艺性的产品阵容，因此请联系我们的销售人员。
规格和型号名称如有更改，恕不另行通知。 * 请联系我们了解兼容的气体类型。
排气性能曲线
*排气性能曲线可能会根据组合而变化
