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  • 产品名称：超声波微液体流量计

  • 产品型号：LF-300
  • 产品厂商：日本SONIC索尼克
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简单介绍：
详情介绍：
用于
IPA、纯水和化学品等半导体制造过程中微小区域的流量控制 ・ *小流量测量从 1 ml/min 开始 ・通过数字信号处理高精度测量微小流量 ・传感器部分具有与流体



的非接触式结构 ・范围广的能力
产品规格
■微型液体流量计（传感器分离型）

μLF-300S

型 μLF-300S + μLT-8I （1/8 英寸） 或 μLF-300S + μLT-4I （1/4 英寸）
测量原理 超声波传播时差法
被测液体 纯水，水溶液，各种化学溶液
*请提前检查水以外的液体。
自适应流体温度范围 在15°C~80°C*60°C
或更高温度下使用时，请提前确认。
流体压力 0.5MPa以下
流体运动粘度 100毫米^2/秒以下
流量范围 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 （μLF-300S + μLT-8I） 0 毫升/分钟 ~ 1000 毫升/分钟 （μLF-300S + μLT-8I）
测量精度 ±0.5%RD（1/8英寸：200~1000毫升/分钟条件：室温，恒温水）±1毫升/分钟（1/8英寸：0~199毫升/分钟） ±0.5%RD（1/4英寸：800~4000毫升/分钟条件：室温，恒温水）


±4毫升/分钟（1/4英寸：0~ 799毫升/分钟）
重复性 ±0.2%（纯净，液体温度±0.5°C，30秒平均值）
权力 直流 24V ±10%
功耗 3.6W以下
重量 发射器 240g，探测器 70g
尺寸宽x高x深（毫米） 发射器 97 x 49 x 127
探测器 90 x 25 x 20 （不含管）
探测器
管材 PFA（含氟聚合物）
管径 1/8 英寸外径：3.17 毫米，内径：2.17 毫米，1/4 英寸外径：6.35 毫米，内径：4.35 毫米
结构 相当于 IP65
随附的电缆 5m，连接器连接
输入部分
数字输出 4 线 RS-422，4 线 RS-485
模拟输出 4-20mA （瞬时流量），负载电阻500Ω以下
集成脉冲输出 1通道（集电极开路）
アラーム出力 1ch (オープンコレクタ)
接点入力 1ch (ゼロ流量設定又は積算クリア)
キー入力 4入力ボタン
■微少液体流量計（一体型）

μLF-300

変換器
型式 μLF-308I (1/8 inch) または μLF-304I (1/4 inch)
測定原理 超音波伝播時間差方式
被測定液体 純水、水溶液、各種薬液
* 水以外の液体の場合は事前にご確認ください
適応流体温度範囲 10℃～60℃
* 60℃以上の場合は事前にご確認ください
環境温度範囲　　    温度：0℃～50℃(結露がないこと）
流量範囲 0 ml/min ～ 1000 ml/min (μLF-308I)
0 ml/min ～ 4000 ml/min (μLF-304I)
測定精度 ±1%RD (1/8 inch : 200 ～ 1000ml/min, 室温, 水の場合)
±2ml/min (1/8 inch : 0 ～ 199ml/min)
±1%RD (1/4 inch : 800 ～ 4000ml/min, 室温, 水の場合)
±8ml/min (1/4 inch : 0 ～ 799ml/min)
繰返し性 ±0.2% (液温±0.5℃, 30秒平均値)
応答性 10 msec 
構造 屋内仕様 (IP65相当) 
電源 DC 5V ±10% 
消費電力 1.5W以下 
重量 350g（**主机）
探测器
管材 PFA（含氟聚合物）
管径

1/8英寸外径：3.17毫米，内径：2.17毫米

1/4英寸外径：6.35毫米，内径：4.35毫米

输出部分
串行 4线RS-422
通信协议 固定数据位 8 位，固定偶数奇偶校验，固定停止位 1 位
波特率 38400波特
串行输出内容 瞬时流量值、积分流量值、错误代码

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